高溫低溫高度試驗箱在微電子的低氣壓試驗

高溫低溫高度試驗箱可以用于微電子器件的高空工作試驗，通過低氣壓試驗，可以檢測微電子在低氣壓環(huán)境下，由于空氣和其他絕緣材料的絕緣強度減弱抗電擊穿失效的能力。

微電子低氣壓試驗：

試驗設(shè)備：高溫低溫高度試驗箱（高低溫低氣壓試驗箱）

設(shè)備型號：環(huán)儀儀器 HYLA-1000

測試標(biāo)準(zhǔn)：GJB548B-2005 微電子器件試驗方法和程序

配套設(shè)備：真空泵、壓力表、示波器等

試驗步驟：

1. 樣品應(yīng)按規(guī)定安放在密封室內(nèi)，除另有規(guī)定外，以不大于10kPa/min 的降壓速率將試驗箱內(nèi)氣壓降到有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的值。把樣品保持在規(guī)定的壓力下，對它們進(jìn)行規(guī)定的試驗。

2. 在試驗期間及試驗前的20min內(nèi)，試驗溫度應(yīng)為25℃±10℃。

3. 連接器件，進(jìn)行測量，并且在整個抽氣過程中施加規(guī)定的電壓。

4. 用微安表或示波器監(jiān)視施加最大電壓的器件引出端，從直流到30MHz范圍內(nèi)看其是否出現(xiàn)電暈放電電流或進(jìn)行其他規(guī)定的性能測試。

5. 對器件施加規(guī)定的電壓，在從常壓到規(guī)定的最低氣壓并恢復(fù)到常壓的整個過程中監(jiān)測器件是否出現(xiàn)故障。器件如出現(xiàn)飛弧、有害的電暈或其他任何影響器件工作的缺陷或退化，都應(yīng)視為失效。

如對此試驗有疑問的，可以咨詢“環(huán)儀儀器”，獲取專業(yè)人員的技術(shù)支持。