《GB/T 4937.13-2018 半導體器件 機械和氣候試驗方法 第13部分：鹽霧》標準

《GB/T 4937.13-2018 半導體器件 機械和氣候試驗方法 第13部分：鹽霧》是中國國家標準化委員會發(fā)布的標準，用于評估半導體器件在鹽霧環(huán)境下的耐蝕性和可靠性。該標準規(guī)定了鹽霧試驗的方法和要求。

一、范圍：
GB/T 4937的本部分規(guī)定了半導體器件的鹽霧試驗方法，以確定半導體器件耐腐蝕的能力。本試驗是模擬嚴酷的海邊大氣對器件暴露表面影響的加速試驗。適用于工作在海上和沿海地區(qū)的器件。
本試驗是破壞性試驗。
本試驗總體上符合IEC 60068-2-11，但鑒于半導體器件的特殊要求，采用本部分的條款。

二、試驗項目：
鹽霧試驗。

三、試驗設備：
鹽霧試驗箱。

四、設備廠商：
環(huán)儀儀器

五、試驗程序（部分）：

按要求預處理之后，試驗樣品應按如下方式放置在試驗箱里，使它們彼此不接觸，彼此不斌擋，能自由地接受鹽霧作用，腐蝕生成物和凝聚物不會從一個樣品滴落在另一個樣品上。試驗箱中噴霧的保持時間應按4.2試驗條件的要求執(zhí)行。
試驗期間，試驗箱內(nèi)的溫度應保持在(35±2)℃，鹽霧的濃度和噴出速度應調(diào)節(jié)到使試驗區(qū)域內(nèi)鹽沉降率為(30±10)g/(㎡?d)。在不低于35℃測量時，鹽溶液的pH值應在6.0～7.5之間[只能用化學純(CP級)的鹽酸或氫氧化鈉(稀溶液)來調(diào)整pH值]。

《GB/T 4937.13-2018》標準規(guī)定了試驗裝置、試驗樣品的選擇和準備、試驗條件、試驗過程和評定方法等方面的要求。通過該標準進行的鹽霧試驗可以幫助制造商和使用者了解半導體器件在鹽霧環(huán)境下的可靠性表現(xiàn)，指導產(chǎn)品設計和改進工藝。