《GB/T 4937.2-2006 半導(dǎo)體器件 機械和氣候試驗方法 第2部分:低氣壓》標(biāo)準(zhǔn)

《GB/T 4937.2-2006 半導(dǎo)體器件 機械和氣候試驗方法 第2部分:低氣壓》是中國國家標(biāo)準(zhǔn)化委員會發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)，用于評估半導(dǎo)體器件在低氣壓環(huán)境下的可靠性和適應(yīng)性。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了低氣壓試驗的方法和要求。

一、范圍：
本部分適用于半導(dǎo)體器件的低氣壓試驗。本項試驗的目的是測定元器件和材料避免電擊穿失效的能力，而這種失效是由于氣壓減小時，空氣和其他絕緣材料的絕緣強度減弱所造成的。本項試驗僅適用于工作電壓超過1 000 V的器件。
本項試驗適用于所有的空封半導(dǎo)體器件。本試驗僅適用于軍事和空間領(lǐng)域。
本項低氣壓試驗方法和IEC 60068-2-13大體上一致，但鑒于半導(dǎo)體器件的特殊要求，使用本部分條款。

二、試驗項目：
低氣壓試驗。

三、試驗設(shè)備：
低氣壓試驗箱。

四、設(shè)備廠商：
環(huán)儀儀器

五、試驗程序（部分）：

樣品應(yīng)按規(guī)定放置在密封室內(nèi)，并按規(guī)定把氣壓減小到表1中的某個試驗條件。把樣品保持在規(guī)定的氣壓下，對它們進行規(guī)定的試驗。在試驗期間及試驗前的20 min 內(nèi)，試驗溫度應(yīng)為25℃±10℃。對器件施加規(guī)定的電壓，在從常壓到規(guī)定的最低氣壓并恢復(fù)到常壓的整個過程中監(jiān)測器件是否出現(xiàn)故障。

在試驗的最后，將樣品從密封室中移出并在標(biāo)準(zhǔn)大氣條件下保持2 h~24 h。樣品上吸附的冰和水汽應(yīng)預(yù)先除去。

《GB/T 4937.2-2006》標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了試驗裝置、試驗樣品的選擇和準(zhǔn)備、試驗條件、試驗過程和評定方法等方面的要求。通過該標(biāo)準(zhǔn)進行的低氣壓試驗可以幫助制造商和使用者了解半導(dǎo)體器件在低氣壓環(huán)境下的可靠性表現(xiàn)，指導(dǎo)產(chǎn)品設(shè)計和改進工藝。